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Nanoprobing. Low current measurements in SEM

作者:北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司
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納米探測(cè)平臺(tái)是一種獨(dú)特的解決方案,它將mibot納米機(jī)械手轉(zhuǎn)變?yōu)閺?qiáng)大的納米探針,用于掃描電鏡中半導(dǎo)體器件和先進(jìn)材料的原位電特性表征。精心設(shè)計(jì)以盡量減少對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾,泄漏電流可低至100 fa/v。屏蔽電纜將每個(gè)探頭從舞臺(tái)連接到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的引線連接器。這個(gè)平臺(tái)允許您在幾個(gè)毫米的工作空間上獨(dú)立放置多達(dá)4個(gè)探針,分辨率高達(dá)納米。最后但并非最不重要的是,舞臺(tái)緊湊的設(shè)計(jì)使得這種解決方案甚至對(duì)那些顯微鏡有一個(gè)小真空室的人來(lái)說(shuō)也是可行的。
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