Allalin快速定量陰極發(fā)光 CL-SEM系統(tǒng)
在半導(dǎo)體故障分析、開(kāi)發(fā)和研究中，Allalin 的光譜測(cè)量能力為快速可靠的缺陷檢測(cè)和定位供了無(wú)與倫比的解決方案。經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的用例包括位錯(cuò)密度、材料成分波動(dòng)、應(yīng)變、摻雜劑類(lèi)型和濃度的測(cè)量；以及其他廣泛的應(yīng)用。
在科學(xué)研究中，Allalin能夠創(chuàng)建納米分辨率的光譜圖，這使得它成為深入了解納米尺度物體物理特性的終極工具。
Allalin 擁有一套全面的選項(xiàng)，可為您的應(yīng)用優(yōu)化該工具的性能：覆蓋紫外 - 紅外波長(zhǎng)范圍的各種探測(cè)器選擇、穩(wěn)定的低溫階段和高靈敏度的 EBIC（電子束感應(yīng)電流）檢測(cè)解決方案。
Allalin快速定量陰極發(fā)光 CL-SEM系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)：
·納米半導(dǎo)體光學(xué)特性
·晶體缺陷檢測(cè)和定位（螺紋位錯(cuò)、堆積缺陷、摻雜物等）
·納米級(jí)成分波動(dòng)的測(cè)定
·摻雜計(jì)量
·失效分析
·納米光子學(xué)
·在300μm的視野（FOV）范圍內(nèi)最高的收集效率
·確?；瘜W(xué)發(fā)光均勻性和再現(xiàn)性，使系統(tǒng)定量和定性。定量：在300μm的大FOV（無(wú)漸暈）下，光子收集效率恒定（±1%）；在不移動(dòng)樣本的情況下，執(zhí)行300μm的圖譜：陰極發(fā)光結(jié)果可重復(fù)且可比較。
·使用近光劑量，減少了對(duì)敏感樣品造成光束損壞的可能性。
·快！單次高光譜CL-map測(cè)量時(shí)間從18秒到30分鐘不等，而競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的是30分鐘至多小時(shí)。
· 同時(shí)生成SEM圖像和高光譜CL圖像，而不會(huì)降低電子探針的尺寸。
·Schottky FEG適用于高電流密度：30 pA至300 nA
·CL模式下的掃描電鏡最高分辨率：低至3nm
·專用Attomap高光譜分析軟件
·具有低溫選項(xiàng)的高精度納米定位工作臺(tái)（10 K至室溫）